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    技術文章

    1400℃三溫區真空氣氛管式爐

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    產品概述:

    AFD-1400-60三溫區真空氣氛管式爐以硅碳棒為發熱元件;雙層風冷結構;高純氧化鋁纖維真空吸附次成型;高密度硅碳棒真空擠壓成型;剛玉管外徑為60、80mm。三個溫區分別由三個獨立的溫控系統來控制且都為PID30段程序化控溫??赏ㄟ^調節三個溫區的控溫程序使爐管內溫場形成溫度梯度,爐管兩端裝有不銹鋼法蘭,不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表,抽真空時真空度能夠達到10-3 Pa,此系列真空氣氛管式爐可以用CVD或PVD方法來生長納米材料和制作各種薄膜。

    主要用途:
    AFD-1400-60三溫區真空氣氛管式爐是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品. ,廣泛用于電子陶瓷產品的預燒、燒結、鍍膜、高溫熱解低溫沉積(CVD)工藝等。

    技術參數:

    產品名稱

    1400℃三溫區真空氣氛管式爐

    產品型號

    AFD-1400-60

    工作溫度

    1300℃

    高溫度

    1400℃

    爐管尺寸

     Φ60mmX1000mm 

    樣品規格

    外型尺寸:860×470×720mm   (更多規格可根據用戶需求定制)

    溫控系統

    溫控方式:三個溫控系統單獨控制,都是采用PID方式調節30段可編程自動控制;

    溫控保護

    具有超溫及斷偶報警功能

    溫控度

    ± 1℃

    加熱速率

    0~20 ℃ / 分

    溫區長度


    每個加熱區200 mm包括20mm間距,總溫區長度: 600 mm 

    真空密封系統

    儀器標配中有套不銹鋼真空密封法蘭,出氣和進氣端都安裝有不銹鋼截止閥,真空度:10-2 torr (用機械泵 );10-5 torr(用分子泵 )

    加熱元件

    1500ºC硅碳棒 

    工作電壓

    AC 220V 單項 50 Hz

    大功率

    10KW

    氣  密  性

    4.03×10-3Pa

    測溫元件

    S型單鉑銠熱電偶測溫

    凈        重

    160 Kg

    爐        管

    高純度剛玉管

    爐殼溫度

    ≤45℃   

    提供相關配件

    真空泵、真空法蘭、真空表、塞磚

    電氣認證

    CE認證

    售后服務

    12個月質保、終身保修

     




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